摘要

在分析和细化MEMS多种器件设计流程的基础上,建立了通用的MEMS Top-Down设计过程模型。参考工作流过程定义语言XPDL,并对其进行了扩展和修改,充分考虑微机械系统设计过程的特点,提出了一种基于XML的MEMS设计过程描述语言(MDPDL),介绍了其设计和实现的基本思想,用实例验证了该语言的有效性。

  • 单位
    西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室; 西安交通大学