石英微机电陀螺的机械耦合误差研究

作者：林日乐; 李文蕴; 张桐; 谢佳维; 蒋昭兴; 满欣; 江黎

来源：压电与声光, 2018, 40(04): 526-528.

DOI：10.11977/j.issn.1004-2474.2018.04.012

• 石英
• 微机电陀螺
• 机械耦合误差

石英微机电陀螺是一种利用科里奥利(Coriolis)效应的振动陀螺,工作时敏感芯片处于谐振状态,机械耦合误差是其主要误差源。分析了敏感芯片机械耦合误差因素,提出了驱动与检测模态解耦设计、振动隔离设计及轴对称质量平衡设计改进方案,实验结果表明,通过改进设计,有效抑制了敏感芯片机械耦合误差,提高了陀螺的精度及环境适应性。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所