太阳能级多晶硅生产工艺研究现状

作者：杨伟强

来源：中国氯碱, 2023, (02): 31-36.

• 太阳能级多晶硅
• 化学方法
• 生产工艺

介绍了改良西门子工艺、强化FBR联合碳化物工艺、混合工艺、新硅烷工艺和卤化硅的热分解或歧化工艺，并分析了每种工艺的流程及特点。