基于双光子直写的微纳光学器件研究进展

作者：何敏菲; 朱大钊; 王洪庆; 杨振宇; 沈凡琪; 吴仍茂; 匡翠方; 刘旭^*

来源：光学学报, 2023, 43(16): 203-218.

• 激光直写
• 双光子直写
• 微纳光学器件
• 纳米光刻
• 高通量刻写

双光子直写技术凭借其高精度、任意三维结构刻写、高成本效益、材料设计高自由度等特点，已被成功应用到多种微纳光学器件的刻写中。基于双光子直写的微纳光学器件应用不断拓展，对刻写分辨率和通量都提出了更高的需求。超分辨激光纳米直写和高通量激光直写技术使得双光子直写具有nm级精度与cm级尺寸的跨尺度加工能力，进一步拓展了基于双光子直写的微纳光学器件研究领域。本文首先对双光子直写原理进行概述，介绍本课题组在利用双光子直写技术制造衍射光学器件、光纤集成器件方面的研究进展；然后，介绍本课题组在使用超分辨激光直写技术制备纳米光子器件方面的拓展研究，并展示了高精度、高通量激光直写技术在大面积刻写微纳光学器件上的技术优势。

• 单位
  浙江大学; 之江实验室