一种微纳光纤纳牛量级力学传感器

作者：吴强; 陈玲; 刘彬; 刘娟; 万生鹏; 伏燕军; 何兴道

来源：2020-04-24, 中国, ZL202010331165.2.

本发明涉及一种微纳光纤纳牛量级力学传感器,包括单模输入传输光纤、多模光纤、单模输出传输光纤；单模输入传输光纤的输入端与宽带光源连接,其输出端与多模光纤的输入端连接,多模光纤的输出端与单模输出传输光纤的输入端连接,单模输出传输光纤的输出端与光电探测器连接；单模-多模-单模结构通过用熔接机将端面切平的三部分熔接在一起,然后将多模光纤部分用拉锥机进行拉锥,再将其弯曲成U型结构。先将该结构用原子力显微镜进行力的标定,再用标定后的U型结构的微纳光纤传感头接触待测样品,结合原子力显微镜力的标定,通过示波器的直流通道的电压的变化确定测量纳牛量级微小作用力的大小。本发明中的上述传感器检测精度高,成本低。