纯相位迭代全息图可以用来设计空间光滤波器。由于介质与空气存在折射率差，空间光在经过全息干板时，会产生相位变化。文章以每个像素光刻胶的高度调制相位，设计出了2.5D灰度全息空间光滤波器。文章还利用电子束光刻机进行灰度曝光，制备不同高度的光刻胶，通过干法刻蚀将图案刻蚀到硅片上。对电子束曝光工艺、显影参数、刻蚀工艺等进行了优化，制备出了高衍射效率空间光滤波器，并进行了表征。
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