基于PLC控制的YAMAHA机器人手臂晶圆去边工艺研究

作者：白雁兵; 王宁

来源：机械管理开发, 2020, 35(11): 216-218.

DOI：10.16525/j.cnki.cn14-1134/th.2020.11.091

• 晶圆
• 光刻胶
• 自动控制
• 匀胶工艺

阐述了晶圆材料的相关发展,介绍了机器人手臂模拟人手的具体流程和详细功能,分析了设备整体的硬件架构和软件设计,并对匀胶工艺进行了探究。设备投产后显著降低了失误率,提高了生产效率,减少了人工成本,得到客户的一致好评。