一种适用于ISFET阵列集成检测系统的读出电路设计

作者：呼红阳; 毕津顺; 李正平; 李云肖; 石聪; 赵爽; 金虎; 牛文成; 岳钊

来源：南开大学学报(自然科学版), 2016, 49(06): 69-79.

• ISFET传感器阵列
• pH检测
• 读出电路
• FPGA

ISFET(Ion Sensitive Field Effect Transistors)是1种可与CMOS工艺兼容的离子敏感场效应晶体管.随着传感器阵列集成度的不断增加,鉴于响应速度、功耗和成本的局限性,单个ISFET的检测电路不适于大规模集成化的检测系统.从集成化的角度出发,在分析多个读出电路的基础上,比较各自的性能特点,得出1种脉冲宽度调节读出电路,在功耗、转换速度和结构方面都有优势,适合于大规模ISFET传感器阵列的数据读取.并应用分立元件对电路性能进行了验证,通过FPGA采集读出电路输出数据,验证其具有良好的稳定性和可行性.

• 单位
  南开大学; 中国科学院微电子研究所