L～Ka波段MEMS单刀七掷开关的设计与研究

作者：吴倩楠^*; 范丽娜; 李孟委

来源：电子测量技术, 2022, 45(08): 7-13.

DOI：10.19651/j.cnki.emt.2108718

• 单刀七掷开关
• MEMS
• 米字型功分器
• 小体积
• 低插损

针对目前MEMS单刀七掷开关体积大、插入损耗及隔离度较差的问题，设计了一种基于“米”字型功分器的单刀七掷MEMS开关，通过HFSS软件对射频MEMS开关单元和“米”字型功分器进行设计，对开关的S参数、驻波比进行了仿真研究，并采用COMSOL软件对射频MEMS开关单元进行机械性能分析。结果表明，在1～40 GHz频段内，单刀七掷MEMS开关各个端口的插入损耗≤0.45 dB@40 GHz,隔离度≥29.5 dB@40 GHz,驻波比≤1.45,且体积仅有0.65 mm×0.5 mm×0.5 mm。此设计可与滤波器、衰减电阻、天线等集成，应用于多通道可调谐MEMS器件中，在卫星通信、雷达、和微波测试领域中具有一定的应用价值。

• 单位
  中北大学