应用修正Stoney公式原位测量硅薄膜电极中的锂化应力（英文）

作者：刘佩琳; 陆宇阳; 郑东昌; 何陵辉; 倪勇^*

来源：中国科学技术大学学报, 2020, 50(12): 1516-1524.

• 修正Stoney公式
• 有限元
• 分叉
• 应力
• 塑性
• 大变形

结合Stoney公式的多光臂应力测量方法能够有效检测出薄膜电极在充放电过程中的平均应力.然而,经典Stoney公式仅适用于低应力水平的情况.运用修正的Stoney公式考虑了硅电极材料力学性质的变化和基底曲率剧烈变化情况下电极薄膜中应力的演化规律.基于应力和扩散相互耦合的三维非线性有限元模型,验证了修正Stoney公式的准确性.进一步,讨论了曲率分叉出现的条件,确保使用修正的Stoney公式时避免出现曲率分叉行为.

• 单位
  中国科学技术大学; 中国科学院