光刻机工件台定位平台结构设计

作者：叶圣义; 徐世福; 桑锦凯

来源：机电信息, 2020, (08): 104-105.

DOI：10.19514/j.cnki.cn32-1628/tm.2020.08.060

• 光刻机
• 定位台
• 三轴联动

针对光刻机工件台易受到微小震动而引起图像偏差的问题,对工件台定位平台的结构进行了优化设计,同时改进了工作台的调节方式,对今后光刻机工件台的研究与改进具有良好的借鉴意义。

• 单位
  宁波大学科学技术学院; 自动化学院