可调波长半导体激光测量台阶高度方法研究

作者：蒋天罡; 李岩; 王昕; 张书练

来源：激光与红外, 2005, (07): 518-520.

• 可调合成波长链
• 台阶高度
• 可调谐半导体激光器
• 绝对干涉测量

文章在分析台阶高度测量现状和背景的基础上,着重介绍了用半导体激光器实现台阶高度的绝对干涉测量方案,提出以可调谐半导体激光器作为光源,采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量,并详细分析了本方案的原理、误差。

• 单位
  精密测试技术及仪器国家重点实验室; 清华大学