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摘要
基于韦森堡效应设计出一套微笔直写的实验系统,研究了结构参数和工艺参数对供液规律以及直写规律的影响,以提供一种低成本、结构简易和高精度的直写装置。通过对比实验获得相关直写的最优工艺参数。研究发现,出口处液体形成理想的液体锥,更有利于直写应用。本系统的供液速度随微管道内径、微管道长度、液柱高度以及针芯转动速度的增加而增加。研究了直写速度、供液速度、笔尖高度和笔尖直径等参数对直写结构的影响,最后采用微管道内径300μm、针芯柱径100μm、针芯旋转速度5 000 r/min、直写速度30 mm/s、笔尖高度100μm及笔尖直径100μm等相关直写的最优工艺参数,成功直写出聚氧化乙烯(PEO)液膜,并制备出多层微流控芯片。
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单位厦门工学院
