电子工业洁净室的洁净度关键影响因素及解决方案探讨

作者：章忠飞; 翟传明; 李晨; 苏乃硕; 田炳欢; 闻义; 谷悦

来源：智能建筑与智慧城市, 2019, (02): 41-43.

DOI：10.13655/j.cnki.ibci.2019.02.015

• 电子洁净室
• 洁净度
• 影响因素
• 解决方案

电子厂房洁净室作为一个庞大而复杂的系统,会导致其洁净度不合格的因素很多。为了保持洁净室洁净度水平,应定期进行洁净检测,并通过人员、设备和物品等制度建设管理,保障电子工业洁净室稳定生产。

• 单位
  中电投工程研究检测评定中心; 京东方科技集团股份有限公司