自聚焦透镜滤光膜的研制

作者：张静; 付秀华; 王正凤; 潘永刚; 田野

来源：长春理工大学学报(自然科学版), 2012, (01): 63-64+78.

• 自聚焦透镜滤光膜
• 窄带滤光片
• 电子束真空镀膜
• 离子辅助沉积 self-focusing lens filter film
• narrow-band filter
• electron beam vacuum coating
• ion-assisted deposition

针对光纤通信系统中自聚焦透镜滤光膜的工作要求,设计了用于激光波段808nm的窄带滤光片,要求808nm处的透射率不小于90%,半峰值宽度为10nm。选取了激光损伤阈值较高的Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料,借助膜系设计软件设计膜系。采用电子束真空镀膜的方法,同时加以离子辅助沉积,调整镀膜工艺参数,改进膜厚控制方法,提高了膜厚的控制精度,减少了中心波长的漂移量和膜层的吸收。该薄膜能够承受雨淋、盐雾、高低温等环境测试,满足使用要求。

• 单位
  东莞光阵显示器制品有限公司; 长春理工大学