基于有限元和正交试验法的CVD感应加热器数值模拟及优化

作者：卢钦强; 李其仲; 张显; 章嵩; 涂溶

来源：热加工工艺, 2017, 46(22): 82-91.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.2017.22.020

• 有限元
• 正交试验
• 感应加热
• 参数优化

通过有限元数值模拟软件与正交试验设计相结合的方法对CVD设备反应室的温度场进行优化。研究了激励电流、电流频率、线圈匝数、线圈间距和加热时间对沉积石墨管温度场的影响。引入平均温度、温度标准差及变异系数指标,采用5因素5水平的正交试验法来设计参数组合进行有限元模拟。通过极差分析和方差分析确定影响石墨管的温度、温度方差及变异系数指标的主次因素,确定最优值。最后对最优的感应加热参数进行模拟验证。结果表明:优化后的温度均匀性获得改善。同时,模拟次数大量减少,提高了优化效率。

• 单位
  材料复合新技术国家重点实验室; 武汉理工大学; 现代汽车零部件技术湖北省重点实验室