基于实时工业以太网的晶圆清洗设备控制系统设计

作者：孙**; 高建利; 郭育澎; 杜婷婷; 张利军

来源：电子工业专用设备, 2020, 49(01): 63-67.

• 以太网
• 以太网控制自动化技术
• 控制系统

介绍了实时工业以太网的发展历程;对EtherCAT和TwinCAT在硬件拓扑及底层逻辑应用方面进行了分析研究;在硬件上根据接口特性设计了拓扑结构,在软件方面设计了底层逻辑程序模块,并根据底层接口提供了上位机人机界面的设计方法。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所