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摘要
分子真空泵作为重要的清洁高真空、超高真空获得设备,因其工作稳定可靠,在分子流态下具有很好的抽气效率,在科学仪器、工业生产设备中得到广泛应用。近年来,随着数控加工手段、磁悬浮轴承技术、模拟计算方法的广泛采用,为分子真空泵性能的进一步提升创造了条件。本文针对分子真空泵设计计算中涉及的基础性问题,以结构改进和抽气性能计算为主要内容,对分子真空泵的研究进展和未来发展进行了总结与展望,供研究者和生产者参考。
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单位东北大学; 自动化学院
