提高半导体工厂的配电可靠性

来源：现代制造, 2022, (03): 40.

<正>半导体制造工厂需要消耗大量电力来支持其设施运行和制造过程。大型工厂每小时可消耗高达100 MW时电力，相当于一个普通家庭17年左右的耗电量，超过了许多炼油厂和汽车制造厂的耗电量。随着产量增加以及过程复杂性提高，电力消耗会持续增加。例如，最新的极紫外光刻技术的耗电量是从前的10倍。