基于白光外差原理与相移光栅的相位展开技术研究

作者：张立富

来源：林业机械与木工设备, 2019, 47(01): 46-50.

DOI：10.13279/j.cnki.fmwe.2019.0010

• 白光外差
• 相移光栅
• 相位展开
• 三维测量

介绍了白光外差原理与光栅相移技术相结合的相位主值计算与相位展开方法,给出了实验测量效果和测量精度。为实现系统尺寸精度的测量设计了专用检测评定仪器,利用该仪器得到了系统的测量精度指标。

• 单位
  机电工程学院; 黑龙江大学