摘要

<正>投资要点未来3-5年,半导体特气行业增速将加快,复合增速很可能达到20-30%。电子气体广泛应用于半导体制造的各个工艺流程,常用于化学气相沉积、离子注入、光刻胶印刷、扩散、刻蚀及参杂等。电子气体的提纯、储运及纯度检测是高质量产品的核心技术。从全球角度来看,国际前五大气体龙头依旧以工业气体为主要营收业务(营收占比超过80%),