串联RF MEMS开关的结构仿真

作者：谌贵辉; 张万里; 彭斌; 蒋洪川; 赵泽宇; 候德胜

来源：光电工程, 2005, (09): 92-95.

• 微机电系统
• 微波开关
• 结构仿真 MEMS
• Microwave switch
• Simulation

RF微机电系统(MEMS)开关“断”状态时的隔离度依赖于其几何结构参数,因而需对其尺寸进行优化设计以获得高的隔离度。利用有限元软件HFSS对串联RFMEMS开关模型进行微波特性分析,系统研究了“断”状态下,MEMS开关的隔离度、回波损耗与其信号线宽度(w)、信号线间距(d)、气隙高度(g)、接触层面积(A)等结构参数的关系。结果表明,较小的w、较大的d、较高的g和较小的A可获得具有较小回波损耗和较大隔离度的MEMS开关。其中信号线间距对微波性能影响最大,是RFMEMS开关结构设计考虑的主要因素。设计了g=3μm,d=60μm,A=80×100μm2,w=100μm一个RFMEMS开关,在5GH...

• 单位
  中国科学院光电技术研究所; 电子科技大学; 微细加工光学技术国家重点实验室; 西昌学院