为解决基片受力时在z轴方向上的应变率分布不均匀问题,提出一种基片的等应变率几何结构。在研究基片应力应变特性的基础上,采用有限元方法和回归分析方法建立等应变率基片的求解模型,给出改进二分法求解算法。结果表明:长、宽、高分别为17.0、3.0、0.5mm的42.75°Y切X传播石英基片,其一角沿z轴负方向延长4.412 7mm可得到等应变率基片。建立等应变率基片应力应变的有限元仿真模型进行验证,结果显示,基片应变率的不一致幅度和程度被有效消除,解决了应变率在z轴方向分布不均匀问题。