退火温度对铝掺杂氧化锌薄膜晶体质量及光电性能的影响

作者：郭德双; 陈子男; 王登魁^*; 唐吉龙; 方铉; 房丹; 林逢源; 王新伟; 魏志鹏

来源：中国激光, 2019, 46(04): 132-136.

• 材料
• 光学性能
• 电学性能
• 铝掺杂氧化锌薄膜
• 退火
• 原子层沉积技术

研究了退火温度对原子层沉积(ALD)生长的铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜光电性能的影响,结果发现:AZO薄膜在600℃退火后,X射线衍射峰的半峰全宽从未退火时的0.609°减小到0.454°,晶体质量得到提升;600℃退火后,薄膜的表面粗糙度从未退火时的0.841 nm降低至0.738 nm;400℃退火后,薄膜的载流子浓度和迁移率均达到最大值,分别为1.9×1019 cm-3和4.2 cm2·V-1·s-1,之后随着退火温度进一步升高,载流子浓度和迁移率降低;退火温度由300℃升高到600℃过程中薄膜的吸收边先蓝移后红移。

• 单位
  长春理工大学; 高功率半导体激光国家重点实验室