等离子清洗处理SERS活性金岛膜表面杂质的研究

作者：郭浩; 丁丽; 莫育俊

来源：光散射学报, 2011, (01): 28-32.

DOI：10.13883/j.issn1004-5929.2011.01.002

• 金岛膜
• 表面增强拉曼光谱
• 等离子体清洗
• 除杂 gold island films
• SERS
• plasma cleaning
• removing contaminants

采用真空蒸镀法在硅片表面形成了一层具有表面增强拉曼活性的金岛膜。拉曼光谱发现该金岛膜表面存在非晶态碳的污染物。通过比较不同清洗方法的拉曼光谱可以证明,用氧气等离子体清洗金岛膜可有效去除金表面的杂质。金岛膜的表面增强拉曼活性在清洗前后没有发生明显变化。

• 单位
  河南大学; 综合研究大学院大学; 黄河水利职业技术学院