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摘要
为制得具有更小电阻即更好导电性能的织物,利用磁控溅射技术,以铜作为靶材,在涤纶纺黏热轧非织造布上沉积铜薄膜制备导电织物,测试其表面电阻值。分别对进气量、溅射功率、工作气压、靶基距、溅射时间进行单因素试验,探究溅射工艺参数对试样导电性能的影响规律;然后在单因素试验基础上对试验进行二次正交旋转组合设计,对显著因素进行参数优化。得出:制备较低表面电阻值的导电织物的最优参数组合为进气量35.00 m L/min、溅射功率83.0 W、工作气压0.400 Pa、靶基距3.900 cm、溅射时间4.10 min,所得导电织物表面电阻值在1.000 0100.000 0Ω。
- 单位
