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摘要
在深紫外激光二极管中，波导层的作用是用来传输并限制光束.传统的深紫外激光二极管存在很强的极化感应电场，这种电场能够降低深紫外激光二极管的光电性能.本文提出了一种新型双阶梯型上波导层(UWG)和下波导层(LWG),可以提高半导体激光器的性能.通过使用Crosslight软件将矩形、单阶梯型和双阶梯型波导层三种不同的结构进行仿真研究，比较三种结构器件的能带图、电子空穴浓度、辐射复合率、P-I以及V-I特性等.结果表明，新型双阶梯波导层结构的应用增加了电子有效势垒的高度，缓解了电子阻挡层的能带弯曲，减小了极化电场的影响，从而提升了该器件的光学和电学性能.
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