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摘要
针对井中套管外永置式微地震监测应用需求，设计了一种耐高温高压的小尺寸光纤MEMS井下微地震检波器，利用有限元分析软件ANSYS对设计的光纤MEMS地震检波器进行仿真分析。仿真结果显示，该型检波器在0～350 Hz的频响范围内能达到75.562 nm/g的加速度灵敏度，横/轴向加速度灵敏度比值为7×10-4，可实现百十μg量级的井中地震信号监测。采用高集成度结构设计实现外径16.6 mm的紧凑型光纤MEMS地震检波器，具备套管外永置式安装能力；选用硅基MEMS芯片抑制高温交叉影响并通过对结构材料筛选达到>200℃的耐温性能；压力仿真结果表明，设计的光纤MEMS地震检波器具备200 MPa耐压能力，可满足油气井套管外微地震监测的应用需求。
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单位中国石油天然气股份有限公司浙江油田分公司
