硅晶片电阻率测量技术的研究

作者：秦伟亮; 常耀辉; 戚红英; 窦连水

来源：电子工业专用设备, 2018, 47(05): 45-49.

• 硅单晶片
• 电阻率
• 四探针测试法

分析了硅晶片电阻率测试的重要性并介绍了国内外常用的电阻率测试方法,并对使用最广泛的工艺检测手段-四探针技术的原理、测准条件及发展状况进行了详细的介绍。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十六研究所