螺旋波等离子体特性及其应用

作者：付唯

来源：现代盐化工, 2021, 48(05): 47-48.

DOI：10.19465/j.cnki.2095-9710.2021.05.020

• 螺旋波等离子体
• 基本特性
• 机理
• 材料制备

螺旋波等离子体由射频天线激励并沿轴向磁场方向在有限直径的圆柱形等离子体柱中传播,具有哨声波和横波模式结构。由于其电离效率高、磁场约束小、操作简单等优点,在各领域都具有非常广阔的应用前景。主要介绍了螺旋波等离子体的高密度优点以及螺旋波等离子体产生的机理、基本特性和在材料制备中的应用。

• 单位
  成都大学