溶胶-凝胶ZrO_2-TiO_2高折射率光学膜层的抗激光损伤性能研究

作者：梁丽萍; 张磊; 盛永刚; 徐耀; 吴东; 孙予罕; 蒋晓东; 魏晓峰

来源：Acta Physica Sinica, 2007, (06): 3596-3601.

• ZrO2-TiO2薄膜
• 溶胶-凝胶
• 激光诱导损伤
• 光学带隙 ZrO_2-TiO_2 films
• sol-gel
• laser-induced damage
• optical band gap

采用溶胶-凝胶方法制备了ZrO2-TiO2(Ti含量为0—100mol%)高折射率光学薄膜.借助激光动态光散射技术研究溶胶微结构.采用傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜、薄膜光学常数分析仪、漫反射吸收光谱及强激光辐照实验,对膜层的结构、光学性能及抗激光损伤性能进行了系统表征.结果显示,溶胶-凝胶工艺可以在部分牺牲折射率的情况下,使膜层的抗激光损伤性能得到大幅度提升.随Ti含量从0mol%增加至100mol%,膜层的平均损伤阈值呈下降趋势,当Ti含量从0mol%增加至60mol%时,平均损伤阈值从57.1J/cm2下降到21.1J/cm2(辐照激光波长为1053nm,脉冲宽度为10ns,“R/1”...

• 单位
  太原科技大学; 中国科学院山西煤炭化学研究所; 中国科学院研究生院; 中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 材料科学与工程学院; 煤转化国家重点实验室