MPCVD法加偏压下金刚石膜的成核行为

作者：刘传先; 武文远

来源：光学仪器, 2005, (04): 18-21.

• 金刚石膜
• 成核
• MPCVD
• 侧向力显微(LFM diamond film
• nucleation
• MPCVD
• lateral force microscopy(LFM)

用微波等离子体化学气相沉积法(M PCVD),探讨了在S i(100)衬底上加偏压电场情况下金刚石膜的成核行为。侧向力显微(LFM)表明偏压电场对金刚石成核有促进作用,并分析了偏压电场促进金刚石成核的机制。

• 单位
  中国人民解放军陆军工程大学; 上海第二工业大学