不同类型籽晶对多晶硅质量的影响

作者：张婷; 王锋; 候炜强; 白翔; 赵宇飞; 符壮

来源：铸造技术, 2019, 40(03): 246-255.

DOI：10.16410/j.issn1000-8365.2019.03.003

• 多晶硅锭
• 籽晶
• 少子寿命
• 位错

采用的籽晶为不同类型的原生多晶硅料,一种是粒径为2～5 mm的原生多晶硅颗粒料;另一种是厚度2 cm左右的原生多晶板料,将二者铺设在同一个坩埚底部,使其各占一半;使得两种籽晶的生长环境,工艺配方及影响长晶的其他因素完全一致,进而有利于更好地比较分析不同类型籽晶对硅锭质量的影响。结果表明,经过对比两种籽晶产出硅锭的晶粒大小,晶粒均匀性,少子寿命以及红外探伤等差异;对比分析两种籽晶的优缺点,发现用粒径为2～5 mm的原生多晶硅料做籽晶具有更好的引晶效果。