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摘要
微透镜阵列在现代光学领域发挥着重要作用，对阵列器件进行残余应力测量从而评价器件质量，指导优化制造工艺具有切实的研究意义。现有的测量研究多着重于对阵列器件整体进行应力测量，对微透镜单元的应力分布尚未有系统的测量研究。本文基于双折射原理，分别使用光弹系统/偏光显微镜，在宏观/微观尺度对不同基底厚度(0.5 mm/1 mm),不同单元排布方式(相切排布/紧密排布),不同微透镜单元口径(126μm/1 mm)的微透镜阵列器件进行了测量研究，并对器件整体(宏观)应力分布规律和透镜单元(微观)应力分布进行了比对和总结。实验结果表明：微透镜阵列的残余应力分布较为均匀，器件宏观残余应力分布与微观区域残余应力存在较为显著的趋同性；在厚度相同的前提下，排布方式、孔径尺寸对残余应力分布影响较小；当阵列器件厚度由1 mm减小至0.5 mm时，方形孔径微透镜阵列，同一区域残余应力增加约250%;圆形孔径微透镜阵列，同一个测量区域下残余应力增加约150%。相同孔径/排布/区域内的残余应力增幅明显。
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