基于COMSOL软件激光烧蚀数值模拟,研究激光烧蚀的加工过程,分析激光工艺参数对靶材温度场和变形的影响规律。结果显示:随着烧蚀时间的增加,靶材的温度升高,材料产生变形,形成微凹坑;随着激光功率的增加,沿深度方向和直径方向的热影响区厚度变大,重铸层的厚度变小;随着光斑直径的增加,沿深度方向的热影响区厚度变大,重铸层厚度变大,沿直径方向的热影响区厚度变大,重铸层厚度变小。
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