近期国产半导体设备的观察与思考

作者：柯建波

来源：电子工艺技术, 2021, 42(05): 249-254.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2021.05.001

• 半导体
• 芯片
• 半导体设备

介绍了近年来全球半导体设备和国内半导体设备现状,分析了国产半导体设备发展的机遇与挑战,对国产半导体设备的发展提出一些建议。