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热解氮化硼材料制备方法以及性能研究
作者:余明; 胡丹; 朱刘; 胡智向
来源:
广东化工
, 2020, 47(07): 48-49.
热解氮化硼
化学气相沉积
制备
沉积机理
反应机理
性能
摘要
本文主要介绍了热解氮化硼材料制备方法,系统介绍了化学气相沉积法制备的热解氮化硼的沉积机理,对热解氮化硼的沉积机理和反应机理进行分析,对热解氮化硼材料性能做了简单测试。
单位
广东先导稀材股份有限公司
;
广东先导先进材料股份有限公司
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