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摘要
提出一种振膜声压灵敏度测试方法，通过法布里-珀罗干涉式光纤传声器系统，可有效得到振膜声压灵敏度。在理论分析中，应用多光束干涉法进行建模，分析得到振膜声压灵敏度受传声器性能参数的影响关系。应用激光测振仪和提出的测试方法对镍膜的声压灵敏度进行测试，验证了所提测试方法的准确性。最后应用所提出的测试方法测试了小尺寸的微机电（Micro Electro Mechanical System,MEMS）振膜。基于光纤传声器的振膜声压灵敏度测试方法为振膜的选用和高性能传声器的研制奠定了基础。
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单位中国电子科技集团公司第三研究所
