Si3N4球/DLC膜摩擦副在真空环境下的摩擦学行为研究

作者：曾群锋; 董光能; 于飞; 刘官

来源：真空科学与技术学报, 2014, 34(11): 1184-1191.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2014.11.10

• 类金刚石膜
• 摩擦磨损性能
• 硬度
• 真空工况

采用非平衡磁控溅射技术在高速钢基体上制备了类金刚石(DLC)膜。采用球盘式摩擦磨损试验机考察了DLC膜在大气和真空环境干摩擦条件下的摩擦学性能,并比较分析了GCr15钢球和Si3N4球不同摩擦配副对DLC膜的摩擦学性能。采用光学显微镜及扫描电镜观察了摩擦副的磨损表面形貌。研究结果表明:由于转移膜的形成Si3N4球/DLC膜摩擦副在大气下具有良好的摩擦学性能;而在真空条件下摩擦副易发生明显的粘着磨损,使摩擦系数、磨斑增加,磨损表面上存在着较多的片状磨屑和微米级颗粒。

• 单位
  北京汽车研究总院有限公司; 西安交通大学