硅基阻挡杂质带太赫兹探测器及其成像研究

作者：王兵兵; 王晓东; 陈雨璐; 张传胜; 臧元章; 潘鸣; 曹俊诚

来源：电子学报, 2021, 49(09): 1867-1872.

• 阻挡杂质带
• 太赫兹探测器
• 峰值响应率
• 扫描成像
• 分辨率

太赫兹探测及成像技术是推动太赫兹科学技术发展的基础和关键.为了实现高灵敏太赫兹探测及成像,设计了一种台面型硅基阻挡杂质带太赫兹探测器,详细介绍了其结构及探测机理,描述了其制备工艺流程,并搭建了黑体响应测试系统.结果表明,4.2K温度条件下,3.8V工作偏压时,探测器峰值响应率可达55A/W,响应频段覆盖6.7～60THz.此外,搭建了一套两维扫描成像系统,实现了高分辨率被动成像.实验结果表明,成像系统空间分辨率可达400μm、温度分辨率约为7.5mK.

• 单位
  中国电子科技集团公司第五十研究所; 中国科学院; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 中国科学院大学