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摘要
为了给光刻机运动台控制系统架构升级提供可靠方案,设计了基于Nios Ⅱ的光刻机运动台电机驱动控制系统。采用FPGA内嵌Nios Ⅱ软核,通过Quartus Ⅱ软件中的Qsys和功能平台Nios ⅡSBT实现电机驱动控制系统硬件电路和软件程序设计。内核部分采用嵌入式多核CPU实现数据并行运算,以提升控制系统的数据处理能力。实验结果表明,该控制系统能够稳定控制电机运转达到预期的驱动效果,验证了该控制系统方案的可行性。
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单位桂林电子科技大学; 自动化学院
