基于MEMS工艺的压电驱动的可变形反射微镜

作者：王一; 王欢; 李以贵^*

来源：微纳电子技术, 2022, 59(01): 66-73.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2022.01.010

• 微电子机械系统(MEMS)
• 自适应光学系统
• 可变形反射微镜
• 硅镜片
• 压电材料

可变形反射镜作为自适应光学系统的核心部件,通过与微电子机械系统(MEMS)技术的结合向微型化、集成化的方向发展。基于压电材料的逆压电效应,设计并制备了一种压电驱动的可变形反射微镜,可通过电信号的控制实现微镜的驱动控制。设计的可变形反射微镜由硅镜片、锆钛酸铅(PZT)驱动器和玻璃基板三部分结构组成。利用有限元仿真软件对硅镜片的结构进行了优化。采用物理气相沉积、紫外光刻、共晶键合、机械切割和深反应离子刻蚀(DRIE)等工艺制备了微镜。在制备硅镜片的每一个工艺步骤结束后,使用激光干涉仪对硅镜面表面形变进行了检测。检测结果显示,制备的微镜在加载±1.5 kV电压时可以实现正向最大0.6μm、负向最大1.7μm的变形。着重讨论了硅镜片产生不均匀形变的原因,并提出了一些解决办法。

• 单位
  上海应用技术大学