电子级多晶硅中金属杂质含量的控制要求较高，其生产工艺、后处理工艺比较严格。电子级多晶硅料在破碎处理中难免会造成二次金属引入的问题，因此对破碎后的电子级多晶硅料进行清洗显得尤其重要。本文分析了电子级多晶硅料清洗质量的影响因素，包括清洗工艺、清洗剂选择、清洗设备材质及环境洁净度和人为操作因素等，并提出相应的控制措施。
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