调制溅射功率对掺镓氧化锌薄膜光电性能影响

作者：张志秦; 胡跃辉^*; 张效华; 胡克艳; 陈义川; 朱文均; 帅伟强; 劳子轩

来源：陶瓷学报, 2019, 40(02): 186-190.

DOI：10.13957/j.cnki.tcxb.2019.02.010

• 溅射功率
• 晶粒尺寸
• 方阻
• 透光性

使用射频磁控溅射法在石英衬底上制备ZnO掺Ga薄膜(GZO),通过调制不同的溅射功率制备GZO薄膜,研究了溅射功率对GZO薄膜光电学性能的影响。对不同溅射功率下的GZO薄膜进行X射线衍射、扫描电镜(SEM)、内应力、紫外可见光光谱、光致发光谱分析和电学性能分析。结果表明:随着溅射功率的提高,GZO薄膜保持良好的C轴择优取向;薄膜结晶度增加,晶界减少,晶粒尺寸增大;透光性减小;薄膜缺陷降低;薄膜表面方块电阻下降。

• 单位
  电子工程学院; 景德镇陶瓷大学