耐高温压力—振动复合传感器设计与仿真

作者：孙博山; 熊继军; 李晨

来源：传感器与微系统, 2022, 41(09): 16-24.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)09-0016-04

• 共烧陶瓷
• 耐高温
• 压力—振动复合传感器
• Ansys Workbench分析

针对高温环境受限空间内压力及振动参数测量的实际需求，设计了一种基于陶瓷共烧工艺的压力—振动复合传感器，将压力、加速度参数转换为电容值实现测量。通过MATLAB软件对复合敏感结构参数进行仿真分析并确定结构尺寸，利用Ansys Workbench对复合敏感结构的静态力学、模态、谐响应及热力学参数进行仿真分析。结果表明：设计的传感器在0～0.5 MPa压力和0～25 gn加速度载荷下能够正常工作；结构的模态分析一阶频率为701.44 Hz,且与谐响应分析结果基本一致；1 200℃下压力灵敏度为2.3 pF/MPa,振动灵敏度为1.188 pF/gn。

• 单位
  中北大学