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立方氮化硼薄膜的制备工艺
作者:王钧石
来源:
材料开发与应用
, 2009, 24(05): 90-93.
DOI:10.19515/j.cnki.1003-1545.2009.05.021
立方氮化硼
工艺
影响因素 Cubic Boron Nitride
Technology
Influence factor
摘要
介绍了几种立方氮化硼(C-BN)薄膜的制备工艺,并对薄膜中立方氮化硼相形成的影响因素进行了讨论。
单位
西南交通大学
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