立方氮化硼薄膜的制备工艺

作者：王钧石

来源：材料开发与应用, 2009, 24(05): 90-93.

DOI：10.19515/j.cnki.1003-1545.2009.05.021

• 立方氮化硼
• 工艺
• 影响因素 Cubic Boron Nitride
• Technology
• Influence factor

介绍了几种立方氮化硼(C-BN)薄膜的制备工艺,并对薄膜中立方氮化硼相形成的影响因素进行了讨论。

• 单位
  西南交通大学