基于双ZnO薄膜单元并联结构的微型压电振动能量采集器(英文)

作者：王佩红; 杜和军

来源：纳米技术与精密工程, 2013, (04): 309-313.

DOI：10.13494/j.npe.2013.052

• ZnO薄膜
• 压电效应
• MEMS
• 压电振动能量采集器 ZnO thin film
• piezoelectric effect
• MEMS
• piezoelectric vibration energy harvester

报道了一种基于ZnO压电薄膜双单元结构的压电式微型振动能量采集器,其中的双压电元件是并联结构.采用射频磁控溅射技术制备ZnO压电薄膜,同时,该压电式振动能量采集器采用微加工技术制作.测试表明该器件的共振频率为1 300 Hz,基于ZnO薄膜双单元并联结构的压电式振动能量采集器比起具有同样尺寸的传统型压电振动能量采集器有更高的输出性能.在频率为1 300 Hz,加速度为10 m/s2的外界振动激励下,该压电式振动能量采集器在1 MΩ负载电阻上产生的电压为2.06 V;当负载电阻为0.6 MΩ时,输出功率最大为1.25μW.

• 单位
  南洋理工大学