ZnO/SiO2复合薄膜的制备及其阻隔性能研究

作者：王超楠; 卢加永; 鲁听; 罗胜耘

来源：包装工程, 2020, 41(07): 107-112.

DOI：10.19554/j.cnki.1001-3563.2020.07.014

• 射频磁控溅射
• ZnO/SiO2复合薄膜
• 透氧率
• 透水率

目的为了进一步提高氧化锌(ZnO)沉积复合薄膜对氧气的阻隔能力,探索其应用于食品和药品包装材料的可行性。方法采用射频磁控溅射技术(RF),以ZnO和二氧化硅(SiO2)为靶材,在PET塑料表面同时沉积,制备ZnO/SiO2复合薄膜包装材料,并详细分析SiO2的引入对ZnO沉积膜微观结构和阻隔能力的影响,优化ZnO/SiO2的制备工艺。结果 SiO2的引入,使ZnO纳米颗粒的形状由片状燕麦变成了球形,当功率密度比PSiO2/PZnO为0.67,氩气流量为20mL/min,沉积时间为20min,工作气压为0.5Pa时,ZnO/SiO2复合薄膜的氧气透过率降低为0.462mL/(m2·d),水蒸气透过率有所增加,为0.367g/(m2·d)。结论引入合适比例的SiO2,可有效提升ZnO沉积层对氧气渗入的阻隔能力,但SiO2引入量过高时,会加剧纳米裂纹,对复合薄膜的阻隔能力不利。

• 单位
  贵州民族大学