半导体器件喷腐工艺与喷腐机改进

作者：石虹

来源：电力机车与城轨车辆, 2012, (02): 54-55.

DOI：10.16212/j.cnki.1672-1187.2012.02.001

• 半导体器件
• 表面喷腐(腐蚀)
• 喷腐机

阐述半导体器件表面喷腐(腐蚀)目的及喷腐机工作原理,分析影响表面腐蚀的因素,特别强调温度对腐蚀速度的影响;同时介绍了不同环境温度,不同腐蚀时间对器件性能的影响,为改造喷腐机,提高喷腐质量提供依据。

• 单位
  株洲南车时代电气股份有限公司