一种低测试逃逸的晶圆适应性测试方法

作者：梁**; 曲金星; 潘宇琦; 汤宇新; 鲁迎春; 易茂祥; 黄正峰

来源：2023-06-28, 中国, CN202310774242.5.

本发明公开了一种低测试逃逸的晶圆适应性测试方法,包括：1、数据预处理；2、利用历史晶圆测试数据得到有效测试集；3、使用有效测试集对待测晶圆进行测试；4、对历史晶圆和待测晶圆分别进行局部参数波动分析；5、对于有局部参数波动的历史晶粒采用局部参数转换并训练空间波动质量预测模型；6、对于无局部参数历史晶粒使用原参数值训练特征参数质量预测模型；7、将待测晶圆中有无局部参数波动的晶粒分别使用模型进行质量预测。本发明能降低晶圆测试成本,同时保持较低的测试逃逸率。

• 单位
  合肥工业大学